SK hynixは、次世代DRAMの量産を実現するために、極紫外線リソグラフィ(EUV)技術の推進に取り組んでいます。同社は昨年、初めてHigh-NA EUV装置を導入し、今年は関連技術の研究開発を本格的に開始しました。報道によると、同社はEUVリソグラフィ性能を向上させるため、フェーズシフトマスク(PSM)などの新材料の導入を全面的に開始しています。(ZDNET Korea)
智通财经2026/08/11 05:16原文を表示
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```htmlSKハイニックスは次世代DRAMの量産を目指して極紫外線リソグラフィ(EUV)技術の推進に取り組んでいます。同社は昨年、初めて高数値開口(High-NA)EUV装置を導入し、今年は関連技術の研究開発を全面的に開始しました。報道によると、同社はEUVリソグラフィ性能向上のため、位相シフトマスク(PSM)などの新しい素材の全面導入を始めています。(ZDNET Korea)```
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